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电子级液体滤芯有哪些选择?

发布时间:2025-11-27 人气:24 来源:本站

电子级液体滤芯可选类型包括亲水/疏水PTFE折叠滤芯、PVDF骨架滤芯、PES滤芯及全氟一体式滤芯等,具体选型需结合介质特性与工艺要求:

核心选项及适用场景:

亲水PTFE折叠滤芯改性亲水膜,免预润湿,耐腐蚀,适用于酸、碱等腐蚀性溶液过滤;操作温度≤80℃,压差≤4 bar(21℃)。

疏水PTFE/PVDF滤芯:疏水性PTFE膜,PVDF骨架,耐高温(≤95℃),耐氧化,适用于超纯水、半导体湿设备、电子试剂终端过滤。

PES滤芯:聚醚砜材质,耐高温(可耐受130°C蒸汽灭菌),化学稳定性强,适用于弱酸/碱和超纯水过滤,常见于微电子行业。

全氟一体式滤芯:PFA/PTFE材质,化学兼容性广,低析出,适用于强腐蚀性电子化学品(如蚀刻液、光刻胶)过滤。

不锈钢烧结滤芯:用于高温(≤200℃)、强腐蚀性场景(如HF酸),过滤精度0.003–50 μm,可清洗重复使用。

选型要点:

材料兼容性:强氧化性/腐蚀性液体优先选PTFE/PVDF/全氟材质;超纯水/光刻胶等选PES/亲水PTFE。

精度与流量:精度常见0.05–5.00 μm,高流量场景选PVDF/全氟折叠设计;小剂量实验室过滤可选一体式滤器(如PULL-FT-PTFE-0.1)。

操作条件:注意温度/压差限制(如PP/PTFE滤芯≤80℃,PVDF≤95℃),高温场景需选PES/不锈钢烧结


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